第308章 这能算对才怪了（2 / 3）
肖宿挨个点了点头，算作打招呼了。
他清凌凌的目光落在罗华身上的时候，罗华紧张的手都出汗了。
他可以说是肖宿的铁桿粉丝了，甚至可以说，肖宿是他在科研路上最暗时刻的光。
当初在wclc上，佐藤健一郎站在台上，用轻蔑的语气嘲讽华国光刻界的时候，他攥紧拳头却无力反驳，那种被碾压的憋屈、那种看不到希望的迷茫，几乎要將他压垮了。
而就在他快要陷入自我怀疑，甚至觉得自己这辈子都赶不上国际顶尖水平的时候，是肖宿甩出了那份四十七页的错误清单，硬生生扒掉了佐藤的偽装，让所有嘲讽华国科研的人都闭了嘴。
那份清单，他翻来覆去啃了整整三遍，每一个错误分析、每一处推导修正，他都逐字逐句琢磨了个遍。
从那个时候起，肖宿就成了他心中的標杆了。
而现在，肖宿竟然直接出现在了他面前，还要指导他们的实验，简直像做梦一样。
介绍完人，高长平领著肖宿走进了实验室。
实验大厅空间很大，挑高將近十米，百级洁净间的正压气流从头顶的ffu送风单元匀速压下，发出持续而低沉的嗡鸣。
几排光学平台整齐列装，气浮支腿上的水平指示灯清一色亮著绿光。
靠里侧是物镜装调工位，六轴调整台和数字波前干涉仪已经架好，镜筒表面贴著的校准反射標记在洁净灯下泛著冷白色的光泽。
再往里走是光源测试区和工件台联调区，深紫外雷射器的脉衝控制器面板上跳著时序波形，工件台的雷射干涉仪正以纳米级解析度实时记录位移数据。
走廊两侧的过道里，穿著洁净服的研究员全都步履匆匆的，没人在閒逛，也没有人高声说话，所有人的节奏里都带著一种紧绷感。
高长平走在肖宿侧前方，一边穿过设备区一边道：
“陈院士是我们专项的理论顾问，干了一辈子光刻仿真了，国內这个领域的底子有一半是他铺的，罗华研究员是陈老的得意门生，光学系统设计这一块现在基本是他挑大樑，今天联调正好轮到他们组，让他给您先介绍一下情况？”
肖宿点点头，没什么意见。
看到肖宿点头，罗华有些激动的上前，走道肖宿的另一侧，从口袋里掏出雷射笔，一边走一边把几个关键工位的布局点给肖宿看。
“肖……肖教授，我……我先把我们目前的实验进度和您同步一下。”
“目前，我们这套物镜系统从设计到装调已经叠代了三轮了。
第一轮叠代是验证光路布局的可行性，那时候镜片还没到位，用的是代用品，波前质量就不用提了，基本只是验证了光路能走通。
第二轮是正式镜片到位之后，我们按设计参数做了精密装调，干涉仪测出来的波像差整体在公差范围內，但边缘视场的偏差还是比设计值要高出一截。
到第三轮，我们把边缘视场的镜片组单独拆出来重新进行了装调，结果这次边缘是好了，可是中间又偏了，来来回回调了快一年了，整体波像差就是压不到目標线以下。”
罗华的声音挺奇怪的，有点一颤一颤的，每说完一段还会下意识地往肖宿那边看一眼，直到肖宿投来一道略带疑惑的目光，他才稍稍稳住心神，说话顺畅了些。
他边说边走到物镜装调工位前，指了指六轴调整台上那个一人多高的镜筒说：
“这就是我们第三轮装调的镜筒。
您看，这是它的整个光路布局，第一组透镜负责把入射光准直聚焦，第二组是折反射镜组，负责光路摺叠和像差校正，第三组是最后的成像放大组。
现在的问题出在第二组和第三组之间。
光经过折反射镜的时候，空间相干性的均匀度被破坏了，到了第三组透镜的时候，入射光的光瞳函数已经不是设计时假设的那个均匀分布了。
我们在仿真里怎么也算不出这么大幅度的非均匀化，但每次装调完一测，数据就在那儿摆著，根本跑不掉。” ↑返回顶部↑
他清凌凌的目光落在罗华身上的时候，罗华紧张的手都出汗了。
他可以说是肖宿的铁桿粉丝了，甚至可以说，肖宿是他在科研路上最暗时刻的光。
当初在wclc上，佐藤健一郎站在台上，用轻蔑的语气嘲讽华国光刻界的时候，他攥紧拳头却无力反驳，那种被碾压的憋屈、那种看不到希望的迷茫，几乎要將他压垮了。
而就在他快要陷入自我怀疑，甚至觉得自己这辈子都赶不上国际顶尖水平的时候，是肖宿甩出了那份四十七页的错误清单，硬生生扒掉了佐藤的偽装，让所有嘲讽华国科研的人都闭了嘴。
那份清单，他翻来覆去啃了整整三遍，每一个错误分析、每一处推导修正，他都逐字逐句琢磨了个遍。
从那个时候起，肖宿就成了他心中的標杆了。
而现在，肖宿竟然直接出现在了他面前，还要指导他们的实验，简直像做梦一样。
介绍完人，高长平领著肖宿走进了实验室。
实验大厅空间很大，挑高將近十米，百级洁净间的正压气流从头顶的ffu送风单元匀速压下，发出持续而低沉的嗡鸣。
几排光学平台整齐列装，气浮支腿上的水平指示灯清一色亮著绿光。
靠里侧是物镜装调工位，六轴调整台和数字波前干涉仪已经架好，镜筒表面贴著的校准反射標记在洁净灯下泛著冷白色的光泽。
再往里走是光源测试区和工件台联调区，深紫外雷射器的脉衝控制器面板上跳著时序波形，工件台的雷射干涉仪正以纳米级解析度实时记录位移数据。
走廊两侧的过道里，穿著洁净服的研究员全都步履匆匆的，没人在閒逛，也没有人高声说话，所有人的节奏里都带著一种紧绷感。
高长平走在肖宿侧前方，一边穿过设备区一边道：
“陈院士是我们专项的理论顾问，干了一辈子光刻仿真了，国內这个领域的底子有一半是他铺的，罗华研究员是陈老的得意门生，光学系统设计这一块现在基本是他挑大樑，今天联调正好轮到他们组，让他给您先介绍一下情况？”
肖宿点点头，没什么意见。
看到肖宿点头，罗华有些激动的上前，走道肖宿的另一侧，从口袋里掏出雷射笔，一边走一边把几个关键工位的布局点给肖宿看。
“肖……肖教授，我……我先把我们目前的实验进度和您同步一下。”
“目前，我们这套物镜系统从设计到装调已经叠代了三轮了。
第一轮叠代是验证光路布局的可行性，那时候镜片还没到位，用的是代用品，波前质量就不用提了，基本只是验证了光路能走通。
第二轮是正式镜片到位之后，我们按设计参数做了精密装调，干涉仪测出来的波像差整体在公差范围內，但边缘视场的偏差还是比设计值要高出一截。
到第三轮，我们把边缘视场的镜片组单独拆出来重新进行了装调，结果这次边缘是好了，可是中间又偏了，来来回回调了快一年了，整体波像差就是压不到目標线以下。”
罗华的声音挺奇怪的，有点一颤一颤的，每说完一段还会下意识地往肖宿那边看一眼，直到肖宿投来一道略带疑惑的目光，他才稍稍稳住心神，说话顺畅了些。
他边说边走到物镜装调工位前，指了指六轴调整台上那个一人多高的镜筒说：
“这就是我们第三轮装调的镜筒。
您看，这是它的整个光路布局，第一组透镜负责把入射光准直聚焦，第二组是折反射镜组，负责光路摺叠和像差校正，第三组是最后的成像放大组。
现在的问题出在第二组和第三组之间。
光经过折反射镜的时候，空间相干性的均匀度被破坏了，到了第三组透镜的时候，入射光的光瞳函数已经不是设计时假设的那个均匀分布了。
我们在仿真里怎么也算不出这么大幅度的非均匀化，但每次装调完一测，数据就在那儿摆著，根本跑不掉。” ↑返回顶部↑