第307章 总算不用被念叨了（3 / 3）
肖宿点点头，但是没有立刻答覆。
他重新翻开文件夹，翻到光学系统那一节，目光在波像差的描述段落上停了一会儿。
光刻物镜的波像差本质上是一个光学传递函数的相位偏差问题，而相位偏差的来源是物镜系统中几十片透镜的加工误差和装调误差的叠加。
在传统的光学工程中，波像差的校准靠的是对每一片透镜的六个自由度进行逐片微调，然后反覆测量验证，是一个典型的“调一调，看一看”的试凑过程。
但如果把整个物镜系统看作一个辛流形上的哈密顿系统，镜片组的装配自由度对应位形空间，波前误差对应哈密顿量，那波像差的最优校准就等价於在辛流形上寻找哈密顿量的极小值了。
而他已经在超材料设计的谱域对消框架里搭好了类似的最优逼近思路，把那里的控制论方法挪过来，也许能给出一个更系统的校准方案。
从方向上来说，可行。
但具体到他们遇到的那些数值指標到底能不能压下去，得亲眼看看实际的装调数据和测试环境才能判断。
光刻系统改进之后，后期他的隱形材料製作也能快很多了。
“可以，”肖宿说。
高长安明显鬆了一口气，语速都比平时快了半分。
“好的，那您大概什么时候方便？”
肖宿还要抓紧研究隱身衣，自然是越快越好。
“明天早上。”
“太好了，刚好明天上午沪城微电子的人这几天在京城的研发中心做联调测试，设备和技术人员都在，我这就安排。”
肖宿把文件夹放在桌上那堆超材料文献的旁边。
“嗯。”
高长安看著肖宿专注的身影笑了笑，转身出去安排的时候，脚步比进来时明显轻快了不少。
他总算不用再被高长平念叨了。 ↑返回顶部↑
他重新翻开文件夹，翻到光学系统那一节，目光在波像差的描述段落上停了一会儿。
光刻物镜的波像差本质上是一个光学传递函数的相位偏差问题，而相位偏差的来源是物镜系统中几十片透镜的加工误差和装调误差的叠加。
在传统的光学工程中，波像差的校准靠的是对每一片透镜的六个自由度进行逐片微调，然后反覆测量验证，是一个典型的“调一调，看一看”的试凑过程。
但如果把整个物镜系统看作一个辛流形上的哈密顿系统，镜片组的装配自由度对应位形空间，波前误差对应哈密顿量，那波像差的最优校准就等价於在辛流形上寻找哈密顿量的极小值了。
而他已经在超材料设计的谱域对消框架里搭好了类似的最优逼近思路，把那里的控制论方法挪过来，也许能给出一个更系统的校准方案。
从方向上来说，可行。
但具体到他们遇到的那些数值指標到底能不能压下去，得亲眼看看实际的装调数据和测试环境才能判断。
光刻系统改进之后，后期他的隱形材料製作也能快很多了。
“可以，”肖宿说。
高长安明显鬆了一口气，语速都比平时快了半分。
“好的，那您大概什么时候方便？”
肖宿还要抓紧研究隱身衣，自然是越快越好。
“明天早上。”
“太好了，刚好明天上午沪城微电子的人这几天在京城的研发中心做联调测试，设备和技术人员都在，我这就安排。”
肖宿把文件夹放在桌上那堆超材料文献的旁边。
“嗯。”
高长安看著肖宿专注的身影笑了笑，转身出去安排的时候，脚步比进来时明显轻快了不少。
他总算不用再被高长平念叨了。 ↑返回顶部↑