第77章 广交会（1 / 12）
第77章 广交会
李向阳並不知道这些。
他顺势问道。
“那咱们普通的光刻机如果改进一下。”
“能不能用於某些特定材料的表面微结构加工？”
“比如在金属表面刻出微米级的润滑储油坑。”
“或者改变光学表面特性？”
这个问题更接近光刻机的本行。
董工来了兴趣。
“理论上可以。”
“但需要针对材料调整光刻胶和刻蚀工艺。”
“不过这要求光刻机本身的对准精度和曝光均匀性很好。”
“我们现在用的接触式光刻机手工对准精度波动大。”
“而且容易损伤掩模板和硅片。”
“用来做这个，效率低。”
“良品率恐怕不高。”
苏晴开口问道。
“那为什么不尝试投影式光刻。”
“或者改进对准方向呢？”
“我了解一些国外的资料。”
“他们开始在光刻机里引入光电传感器和计算机。”
“实现自动对准和曝光参数补偿。”
“精度和稳定性提升了很多。”
胡工和董工对视一眼。
露出一丝苦笑。
胡工回应苏晴。
“你说的没错。”
“但那是国际先进方向。”
“我们何尝不想？”
“但很难呀！” ↑返回顶部↑
李向阳並不知道这些。
他顺势问道。
“那咱们普通的光刻机如果改进一下。”
“能不能用於某些特定材料的表面微结构加工？”
“比如在金属表面刻出微米级的润滑储油坑。”
“或者改变光学表面特性？”
这个问题更接近光刻机的本行。
董工来了兴趣。
“理论上可以。”
“但需要针对材料调整光刻胶和刻蚀工艺。”
“不过这要求光刻机本身的对准精度和曝光均匀性很好。”
“我们现在用的接触式光刻机手工对准精度波动大。”
“而且容易损伤掩模板和硅片。”
“用来做这个，效率低。”
“良品率恐怕不高。”
苏晴开口问道。
“那为什么不尝试投影式光刻。”
“或者改进对准方向呢？”
“我了解一些国外的资料。”
“他们开始在光刻机里引入光电传感器和计算机。”
“实现自动对准和曝光参数补偿。”
“精度和稳定性提升了很多。”
胡工和董工对视一眼。
露出一丝苦笑。
胡工回应苏晴。
“你说的没错。”
“但那是国际先进方向。”
“我们何尝不想？”
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