第1012章 3亿美幣一台?阿斯麦重新上市?青春永驻的诱惑!(4 / 5)
梁劲松语气沉稳,条理清晰地答道。
新品发布会定在九月五日,也就是下周二。
场地、媒体邀请、客户名单均已確认完毕,连新闻通稿的初稿都已完成,前期筹备工作基本就绪也是很正常的事。
陈延森微微頷首,示意梁劲松继续匯报。
梁劲松用雷射笔圈住架构图左侧的模块,开始介绍核心参数:“a3x搭载的是第四代锡靶等离子体光源,输出功率达到800瓦,是a220光源功率的三倍以上。
量產机实测数据比工程样机还要稳定,连续运行九十六小时,功率波动控制在正负零点二五个百分点以內。”
800瓦,稳定运行九十六小时,波动不超过千分之二点五。
这已经不是领先一代的问题了!
等破晓a3x光刻机的核心参数公布后,欧美地区的光刻机研发机构,怕是当场就会放弃追赶的想法。
梁劲松继续往下说,雷射笔移到了架构图的投影物镜模组区域:“数值孔径0.55,这是a3x最核心的技术指標。
採用了8x变形投影光学系统,物镜组中引入了非球面加自由曲面混合透镜阵列,一共十七片光学元件,其中六片是自由曲面镜,面型精度做到了30皮米rms以下。”
一个皮米是一万亿分之一米。
这意味著,十七片镜片中每一片的表面起伏,都不超过大约三分之一个原子的直径。
梁劲松翻到新的一页ppt,上面是一张柱状图,横轴是时间,纵轴是每小时晶圆处理量。
“a3x的量產吞吐量是每小时380片12英寸晶圆,这个数字是六台量產机的平均值,最高的一台跑到了每小时411片。”
a3x的產能,相比a220足足提升了近一倍。
而它更强大的优势在於,单次曝光即可支持1纳米晶片的生產。
“老板,售价需要您来拍板。”
一口气介绍完a3x的全部参数后,梁劲松笑著提议道。
“破晓a220卖8000万美幣,那a3x至少也要翻一倍,加上工艺优势,定2.4亿美幣吧。
“”
陈延森慢条斯理地说道。
当然,2.4亿美幣仅仅是裸机价格,厂房euv专用改造、电力和冷却系统、真空与防污染系统、安装调试和维保合同所需的费用还没算进去。
否则,最低也要3亿美幣!
说完,陈延森缓缓起身,衝著梁劲松说:“去预装测试车间看看。”
毕竟破晓a3x的研发工作,他全程都没怎么参与,全靠之前的研发团队。
技术文档没问题,就怕製造环节出紕漏。
一行人出了会议室,直奔euv光刻机的专用洁净室而去。
另一边。
港岛、澳岛的超级富豪,在得知tln—02衡端素的存在后,纷纷托人打听,想弄清它的真实效果。 ↑返回顶部↑
新品发布会定在九月五日,也就是下周二。
场地、媒体邀请、客户名单均已確认完毕,连新闻通稿的初稿都已完成,前期筹备工作基本就绪也是很正常的事。
陈延森微微頷首,示意梁劲松继续匯报。
梁劲松用雷射笔圈住架构图左侧的模块,开始介绍核心参数:“a3x搭载的是第四代锡靶等离子体光源,输出功率达到800瓦,是a220光源功率的三倍以上。
量產机实测数据比工程样机还要稳定,连续运行九十六小时,功率波动控制在正负零点二五个百分点以內。”
800瓦,稳定运行九十六小时,波动不超过千分之二点五。
这已经不是领先一代的问题了!
等破晓a3x光刻机的核心参数公布后,欧美地区的光刻机研发机构,怕是当场就会放弃追赶的想法。
梁劲松继续往下说,雷射笔移到了架构图的投影物镜模组区域:“数值孔径0.55,这是a3x最核心的技术指標。
採用了8x变形投影光学系统,物镜组中引入了非球面加自由曲面混合透镜阵列,一共十七片光学元件,其中六片是自由曲面镜,面型精度做到了30皮米rms以下。”
一个皮米是一万亿分之一米。
这意味著,十七片镜片中每一片的表面起伏,都不超过大约三分之一个原子的直径。
梁劲松翻到新的一页ppt,上面是一张柱状图,横轴是时间,纵轴是每小时晶圆处理量。
“a3x的量產吞吐量是每小时380片12英寸晶圆,这个数字是六台量產机的平均值,最高的一台跑到了每小时411片。”
a3x的產能,相比a220足足提升了近一倍。
而它更强大的优势在於,单次曝光即可支持1纳米晶片的生產。
“老板,售价需要您来拍板。”
一口气介绍完a3x的全部参数后,梁劲松笑著提议道。
“破晓a220卖8000万美幣,那a3x至少也要翻一倍,加上工艺优势,定2.4亿美幣吧。
“”
陈延森慢条斯理地说道。
当然,2.4亿美幣仅仅是裸机价格,厂房euv专用改造、电力和冷却系统、真空与防污染系统、安装调试和维保合同所需的费用还没算进去。
否则,最低也要3亿美幣!
说完,陈延森缓缓起身,衝著梁劲松说:“去预装测试车间看看。”
毕竟破晓a3x的研发工作,他全程都没怎么参与,全靠之前的研发团队。
技术文档没问题,就怕製造环节出紕漏。
一行人出了会议室,直奔euv光刻机的专用洁净室而去。
另一边。
港岛、澳岛的超级富豪,在得知tln—02衡端素的存在后,纷纷托人打听,想弄清它的真实效果。 ↑返回顶部↑