183.第183章 分布式投影光刻机研制成功(4 / 5)
在李暮加入分布式投影光刻机研制组后,有他的引导下,物镜系统的研究进度飞快向前推进。
全组人员加班加点地在实验室熬,黄新华更是直接住在了半导体研究所,一连七天没有回家。
结果也没有辜负他们的努力。
高曝光分辨率、低波相差、快速检测、微环境控制等一系列的技术难题被逐渐解决。
分布式投影光刻机的研制,也进入最后阶段。
……
分布式投影光刻机研制组实验室内。
在众人目光的注视下,研究人员将最后的零部件组装完成,旋即立刻宣布开始光刻实验。
分布式投影光刻机开始运行,在晶圆表面涂覆光刻胶后,曝光系统开始工作,将掩膜上的图形投影在晶圆上。
同时晶圆沿相反方向,以四分之一的速度开始移动。
再进入显影环节,将光刻胶中未曝光区域溶解,从而露出下面的硅片。
……
一道道原本复杂无比的光刻工序,一台分布式投影光刻机,全部搞定!
然而这还不算结束。
看着刘泽和王杨两人,拿着刚刚从分布式投影光刻机中生产而出的通信芯片,李暮脸上露出笑意。
这块通信芯片,光从外表看,就比原先的通信芯片小了10倍不止。
而它的集成度也相当夸张,达到了恐怖的3万!
不过还差最后一步,验证通信芯片能够正常运行,才是真正的成功。
李暮看了看身旁的严佩林和黄新华,两人俱是一笑,用目光示意他继续指挥。
他看向满脸兴奋走到自己面前的刘泽和王杨两人,沉声道:“开始检测芯片是否完好。”
“是!”刘泽和王杨身体同时一震,如同在举行某种崇高的仪式般,将手中的通信芯片放入检测仪器。
没过多久,随着检测信号灯“滴~”的一声亮起,实验室里爆发出巨大的欢呼声:
“成功了,终于成功了!”
“成了,成了,我们的辛苦没有白费!”
……
实验室里的人几乎高兴地都要跳起来。
严佩林大手直接一挥,道:“今天食堂加餐,每个人都有红烧肉吃!”
听到这个奖励,人群的欢呼声又大了许多。
这个年代,能吃上一顿肉,对任何一个人都是件幸福的事情。
黄新华也是笑得满脸开怀,皱了很长很长时间的眉头,第一次彻底地舒展开来。 ↑返回顶部↑
全组人员加班加点地在实验室熬,黄新华更是直接住在了半导体研究所,一连七天没有回家。
结果也没有辜负他们的努力。
高曝光分辨率、低波相差、快速检测、微环境控制等一系列的技术难题被逐渐解决。
分布式投影光刻机的研制,也进入最后阶段。
……
分布式投影光刻机研制组实验室内。
在众人目光的注视下,研究人员将最后的零部件组装完成,旋即立刻宣布开始光刻实验。
分布式投影光刻机开始运行,在晶圆表面涂覆光刻胶后,曝光系统开始工作,将掩膜上的图形投影在晶圆上。
同时晶圆沿相反方向,以四分之一的速度开始移动。
再进入显影环节,将光刻胶中未曝光区域溶解,从而露出下面的硅片。
……
一道道原本复杂无比的光刻工序,一台分布式投影光刻机,全部搞定!
然而这还不算结束。
看着刘泽和王杨两人,拿着刚刚从分布式投影光刻机中生产而出的通信芯片,李暮脸上露出笑意。
这块通信芯片,光从外表看,就比原先的通信芯片小了10倍不止。
而它的集成度也相当夸张,达到了恐怖的3万!
不过还差最后一步,验证通信芯片能够正常运行,才是真正的成功。
李暮看了看身旁的严佩林和黄新华,两人俱是一笑,用目光示意他继续指挥。
他看向满脸兴奋走到自己面前的刘泽和王杨两人,沉声道:“开始检测芯片是否完好。”
“是!”刘泽和王杨身体同时一震,如同在举行某种崇高的仪式般,将手中的通信芯片放入检测仪器。
没过多久,随着检测信号灯“滴~”的一声亮起,实验室里爆发出巨大的欢呼声:
“成功了,终于成功了!”
“成了,成了,我们的辛苦没有白费!”
……
实验室里的人几乎高兴地都要跳起来。
严佩林大手直接一挥,道:“今天食堂加餐,每个人都有红烧肉吃!”
听到这个奖励,人群的欢呼声又大了许多。
这个年代,能吃上一顿肉,对任何一个人都是件幸福的事情。
黄新华也是笑得满脸开怀,皱了很长很长时间的眉头,第一次彻底地舒展开来。 ↑返回顶部↑