第93章 这，这是刻蚀工艺？（4 / 5）
“采用部分或完全电离的中性气体，通常包括电子、正负离子、中性粒子（包括激发态和基态的中性粒子）、自由基以及光子等……”
“这些气体在以等离子体形式存在时，具备两个特点，一是化学活性比常态下更加活跃……”
“二是可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定的能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。”
下面还有详细的图例展示。
三人将稿纸一张张摊开，发现上面不仅记载了刻蚀工艺的流程，甚至连离注入都写了小半。
虽然不能说完全照着做就能实现刻蚀工艺和离子注入工艺，但是几乎一下子把他们需要验证的错误选项排除了大半。
他们的目光不由陷入呆滞当中。
不多时，回去休息的专家和教授们回到实验室，看见三人的表情，好奇地看向稿纸，目光同样变得呆滞起来。
“这，这到底是谁写的？”良久，陆骞嘴里终于憋出一个字。
他们苦熬了许久都没搞出来，结果过了一晚上，竟然有人直接给弄出来了！
黄新华看着稿纸上的笔记，目光微微一动，道：“你们不觉得，这个笔迹，还有这每句开头一定要加我推断的格式，很像一个人吗？”
这么一说，答案呼之欲出，在场的专家教授嘴里都不由脱口而出：“李暮！”
黄新华微微颔首，道：“恐怕也只有他，才能有这个天分。”
闻言，顾鸣、陆骞等一众教授不由连连点头。
“既然有了这份方案，我觉得，我们离攻克集成电路的四项关键工艺已经很近了。”黄新华深吸一口气，环视了实验室内的所有教授一眼。
他继续道：“我认为，我们有必要和半导体研究所那边联系，进行联合实验。”
……
半导体研究所。
王绶觉正在实验室内，检查最近的研究进度。
有着李暮方案的帮助，他们所有研究几乎都在这个大框架下进行。
起先他还有点担心，万一走错路，可能会浪费大量的人力物力和财力。
但越研究到后面，他越发现，前方的那条道路一定是正确的。
就好像一条笔直的康庄大道，他们虽然一路会跌跌撞撞，碰到不少阻碍。
但只要朝前走，就一定能走到终点。
王绶觉手下的研究员正在汇报工作：
“王所，我们已经配出了可用的溶液，接下来只需要在配比、温度和反应时间上进行实验，就有很大的可能性实现刻蚀作用。”
“呵呵，这次我们一定能过超过京工院。”
“做得好，继续努力。”王绶觉闻言，不由点点头，心中总算有点找回面子的感觉。
不过想到他们半导体研究所竟然和一个大学的研究团队对比，心中就不免苦笑。
在四项工艺的研究工作上，明明他们半导体研究所实力更雄厚，却接连被京工院那边超过。 ↑返回顶部↑
“这些气体在以等离子体形式存在时，具备两个特点，一是化学活性比常态下更加活跃……”
“二是可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定的能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。”
下面还有详细的图例展示。
三人将稿纸一张张摊开，发现上面不仅记载了刻蚀工艺的流程，甚至连离注入都写了小半。
虽然不能说完全照着做就能实现刻蚀工艺和离子注入工艺，但是几乎一下子把他们需要验证的错误选项排除了大半。
他们的目光不由陷入呆滞当中。
不多时，回去休息的专家和教授们回到实验室，看见三人的表情，好奇地看向稿纸，目光同样变得呆滞起来。
“这，这到底是谁写的？”良久，陆骞嘴里终于憋出一个字。
他们苦熬了许久都没搞出来，结果过了一晚上，竟然有人直接给弄出来了！
黄新华看着稿纸上的笔记，目光微微一动，道：“你们不觉得，这个笔迹，还有这每句开头一定要加我推断的格式，很像一个人吗？”
这么一说，答案呼之欲出，在场的专家教授嘴里都不由脱口而出：“李暮！”
黄新华微微颔首，道：“恐怕也只有他，才能有这个天分。”
闻言，顾鸣、陆骞等一众教授不由连连点头。
“既然有了这份方案，我觉得，我们离攻克集成电路的四项关键工艺已经很近了。”黄新华深吸一口气，环视了实验室内的所有教授一眼。
他继续道：“我认为，我们有必要和半导体研究所那边联系，进行联合实验。”
……
半导体研究所。
王绶觉正在实验室内，检查最近的研究进度。
有着李暮方案的帮助，他们所有研究几乎都在这个大框架下进行。
起先他还有点担心，万一走错路，可能会浪费大量的人力物力和财力。
但越研究到后面，他越发现，前方的那条道路一定是正确的。
就好像一条笔直的康庄大道，他们虽然一路会跌跌撞撞，碰到不少阻碍。
但只要朝前走，就一定能走到终点。
王绶觉手下的研究员正在汇报工作：
“王所，我们已经配出了可用的溶液，接下来只需要在配比、温度和反应时间上进行实验，就有很大的可能性实现刻蚀作用。”
“呵呵，这次我们一定能过超过京工院。”
“做得好，继续努力。”王绶觉闻言，不由点点头，心中总算有点找回面子的感觉。
不过想到他们半导体研究所竟然和一个大学的研究团队对比，心中就不免苦笑。
在四项工艺的研究工作上，明明他们半导体研究所实力更雄厚，却接连被京工院那边超过。 ↑返回顶部↑